[ 返回 EurekAlert! 中文 ] 公开发布日期: 2011年01月12日
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联系人: JASON SOCRATES BARDI
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美国物理联合会

让结构更小从而让晶片更快

通过一个7至15纳米滤镜的锡和锂极紫外辐射中等离子体羽流的伪彩色图像,它们是在相同条件下获得的。

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哥伦比亚特区华盛顿(2010年12月14日)-- 制造用于各种电子产品的半导体晶片涉及到利用激光在晶片上蚀刻出细小结构,这一过程最终受限于光本身的波长。半导体行业正快速接近这一阻碍微芯片速度提高的根本极限。根据普渡大学研究者在《应用物理杂志》上的报道,新开发的一种强烈的13.5纳米(极紫外或 EUV)光源会解决这个问题, 这是通过减小约一个数量级的结构尺寸而实现的。

一种产生此波长的光的方法是用激光轰击锡(Sn)和锂(Li)靶,而产生强烈而明亮的等离子体;锡和锂是很好的候选者,这是因为它们的等离子体在13.5 纳米区能高效地辐射,普渡大学的研究生Ryan Coons说。他和他的同事利用光谱和法拉第杯来分析激光产生锡锂等离子体辐射特性和碎片,该小组的其他人员建立了这个物理过程的模型。

通过对锡锂等离子体原子和离子碎片及其辐射特性的详细比较,该小组的结果显示锡等离子体产生了两倍于锂等离子体的辐射。虽然锡离子明显地有较高动能,但是它有较低的通量。还需更多的工作来完善这项技术。

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这篇文章, “激光产生锡锂等离子体的原子和离子碎片特性分析”, 作者Ryan W. Coons, Sivanandan S. Harilal, David D. Campos, 和 Ahmed Hassanein,发表在《应用物理杂志》上。参阅:http://link.aip.org/link/japiau/v108/i6/p063306/s1

记者可以免费索取这篇文章的一份PDF格式电子拷贝。 请联络 jbardi@aip.org

附注: 记者可获取一张图片。 请联络 jbardi@aip.org

图片标题:通过一个7至15纳米滤镜的锡和锂极紫外辐射中等离子体羽流的伪彩色图像,它们是在相同条件下获得的。

关于《应用物理杂志》

《应用物理杂志》是美国物理联合会(AIP)记载应用物理领域内重大新成果的杂志。其内容每天在线发表, 积集成每月的两期在线版和两期印刷版 (每年24 刊)。 此杂志发表对现代工程技术中的物理内涵有侧重见解的文章, 杂志定位介于工程技术和纯物理之间。 参阅 http://jap.aip.org

关于美国物理联合会(AIP)

美国物理联合会是代表了超过13.5万名科学家、工程师和教育者的由10个物理科学学会组成的联盟,它是全世界物理科学领域科学信息的最大的出版者。AIP为科学学会和科学与工程学会的出版者提供伙伴解决方案,它是学术期刊电子出版领域的领导者。AIP出版12种期刊(其中许多期刊在各自领域有最高的引用次数)和两份杂志 ,包括它的旗舰出版物《今日物理》,以及《AIP会议文集》系列。它的网络出版平台Scitation收录了来自28个学术团体出版社的超过185份学术期刊和其他出版物的将近200万篇论文 。



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